首頁 ﹥ 商品介紹 > 其它設備 > 真空加熱爐 觀看大圖 真空加熱爐 功能用途 TFT-LCD面板制程中，利用熱循環腔體加熱TFT-LCD面板後,透過將腔體抽真空,形成真空環境,使TFT-LCD面板達到客戶要求的製程品質改善。 加熱方式 熱風導流系統 使用溫度範圍 RT~180℃，RT~180℃≒60min 加熱器 220V * 3.5KW * 1EA 溫度精度 ± 5℃ 溫度控制 PID controller 腔體材質 SUS304 T=12mm 設備尺寸 內部尺寸：W1100*H900*D800 ( mm )／機台尺寸：W1620*H2240*D1520 ( mm )
